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发明名称 METAL DEPOSITING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02166729(A) 申请公布日期 1990.06.27
申请号 JP19880322677 申请日期 1988.12.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAKIUCHI TAKAO;FUJII TOYOKAZU;FUJITA TSUTOMU
分类号 C23C16/02;C23C16/06;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
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