发明名称 VORRICHTUNG ZUM EIN- UND AUSSCHLEUSEN VON SUBSTRATEN IN VAKUUMKAMMERN
摘要
申请公布号 DD280199(A1) 申请公布日期 1990.06.27
申请号 DD19890325857 申请日期 1989.02.20
申请人 GEHMLICH,KONRAD,DD 发明人 GEHMLICH,KONRAD,DD;SCHINKEL,OLAF,DD;METZNER,DIETMAR,DD;HEIDER,GEORG,DD;KOSCH,WOLFGANG,DD
分类号 H01J37/18;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 H01J37/18
代理机构 代理人
主权项
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