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发明名称
GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH02166723(A)
申请公布日期
1990.06.27
申请号
JP19880325062
申请日期
1988.12.20
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SAKUMA YOSHIKI
分类号
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/203
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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