发明名称 SOHOGATAMOSHANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPH0228902(B2) 申请公布日期 1990.06.27
申请号 JP19800038368 申请日期 1980.03.26
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KAWAMATA IKUO
分类号 H01L21/8238;H01L21/285;H01L21/336;H01L27/092;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/78 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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