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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02165628(A) 申请公布日期 1990.06.26
申请号 JP19880321201 申请日期 1988.12.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJII TOYOKAZU;KAKIUCHI TAKAO;YAMAMOTO HIROSHI;FUJITA TSUTOMU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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