ALIGNER,申请号JP19880321673-传众专利搜索

发明名称	ALIGNER
摘要
申请公布号	JPH02165616(A)	申请公布日期	1990.06.26
申请号	JP19880321673	申请日期	1988.12.19
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	MORIMOTO HIROAKI;EGUCHI KOJI
分类号	G03F9/00;H01L21/027	主分类号	G03F9/00
代理机构		代理人
主权项
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