发明名称 METHOD OF FORMING ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02165625(A) 申请公布日期 1990.06.26
申请号 JP19880321224 申请日期 1988.12.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KOTANI JUTARO
分类号 H01L21/28;H01L21/324 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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