发明名称 MEASURING APPARATUS FOR HOLOGRAPHIC INTERFERENCE OF THROUGH-HOLE
摘要
申请公布号 JPH02165005(A) 申请公布日期 1990.06.26
申请号 JP19880319454 申请日期 1988.12.20
申请人 OSAKA SEIMITSU KIKAI KK 发明人 SUZUKI MITSUO
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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