发明名称 THREE-POLE DISCHARGE CHEMICAL REACTOR
摘要
申请公布号 JPH02166282(A) 申请公布日期 1990.06.26
申请号 JP19880319956 申请日期 1988.12.19
申请人 ANELVA CORP 发明人 ASAMAKI TATSUO
分类号 C23C16/50;C23C16/27;C23F4/00 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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