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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02164033(A)
申请公布日期
1990.06.25
申请号
JP19880321258
申请日期
1988.12.19
申请人
NEC CORP
发明人
HIROKAWA TOMOAKI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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