发明名称 FORMATION OF SOI STRUCTURE AND SOI STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH02164023(A) 申请公布日期 1990.06.25
申请号 JP19880320924 申请日期 1988.12.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 OGATA HIDEKANE;HANABUSA HIROSHI;YONEDA KIYOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/86 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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