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<P>Formation d'ouvertures de contact au travers d'une couche de matériau isolant.</P><P>Selon l'invention, on procède à une attaque de gravure dans une première couche 12 en matériau isolant, au travers d'un masque, pour définir des ouvertures 19a, 19bde préférence incomplètement gravées, on élimine le masque, on dépose une seconde couche 21 et on procède à une seconde attaque de gravure, sans masque, jusqu'à ce que des zones de contact sur les éléments 14, 15 soient dégagées.</P>
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