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发明名称 METHOD OF MEASURING OXYGEN CONCENTRATION IN CZ SILICON CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02163646(A) 申请公布日期 1990.06.22
申请号 JP19880318791 申请日期 1988.12.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HARA AKITO
分类号 G01N27/00;C30B15/20;C30B29/06;C30B31/06;C30B33/00;H01L21/208 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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