发明名称 |
FORMATION OF OPTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE PROTECTIVE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02162788(A) |
申请公布日期 |
1990.06.22 |
申请号 |
JP19880318822 |
申请日期 |
1988.12.15 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HIRANAKA KOICHI;KONDO NOBUYOSHI;TODOKORO YASUYUKI;NOJIRI HIROSHI;HIRANO AKIRA |
分类号 |
H01L31/04;H01S5/00;H01S5/042 |
主分类号 |
H01L31/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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