| 发明名称 |
TUNNEL MICROSCOPE-TYPE FINE WORKING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02163388(A) |
申请公布日期 |
1990.06.22 |
| 申请号 |
JP19880318966 |
申请日期 |
1988.12.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMAMOTO TAKU;FUJIMURA MAYUMI |
| 分类号 |
C23F4/00;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q80/00;H01J37/28 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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