发明名称 MOLECULAR BEAM FLUX MONITOR
摘要
申请公布号 JPH02163375(A) 申请公布日期 1990.06.22
申请号 JP19880319742 申请日期 1988.12.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 NAITOU MASAO
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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