发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRONIC MEMBER OR ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02161726(A) 申请公布日期 1990.06.21
申请号 JP19880316933 申请日期 1988.12.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NANBA TAKANORI;ENDO SHINJI;OMORI HISAAKI;FUKUMOTO HAYAAKI;YAGI SHIGENORI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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