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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SUBMIKRONISCHER GRAEBEN, Z.B. IN HALBLEITERMATERIAL UND NACH DIESEM VERFAHREN HERGESTELLTE ANORDNUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3577776(D1) 申请公布日期 1990.06.21
申请号 DE19853577776 申请日期 1985.09.13
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 MAAS, HENRICUS GODEFRIDUS RAFAEL;APPELS, JOHANNES ARNOLDUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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