发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02161719(A) 申请公布日期 1990.06.21
申请号 JP19880316823 申请日期 1988.12.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKADA YOSHIAKI
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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