光学扫描信息平面用的装置

摘要

一种光学扫描装置。该装置包括一个提供扫描光束(b1)的辐射源(7)，一个物镜系统(8)用于将扫描光束在被扫描的信息平面(2)处聚焦成扫描光点(S1)，还包括第一衍射元件(9)，该元件使得由信息平面(2)反射的光产生变形，从中获得聚焦误差信号。本装置进一步包括第二衍射元件，以形成两束辅助光(b2、b3)借助于该元件可以获得跟踪误差信号，第二衍射元件具有这样的尺寸以及置于这样的位置，以致从第一衍射元件(9)发出的光束不通过第二衍射元件。

主权项

1、一种用于光学扫描一个反射辐射的信息平面的装置，该装置包括一个辐射源，它提供扫描光束；一个物镜系统将扫描光束在信息平面处聚焦成扫描光点并使扫描光点在组合式灵敏辐射探测系统上重新成像；还包括第一衍射元件，该元件置于辐射源与物镜系统之间的光通路中，该元件使一部分被信息平面反射的辐射偏转到灵敏辐射探测系统，并以这样的方式改变被衍射的光束，即借助于组合探测系统来获得聚焦误差信号，其特征在于：在辐射源和第一衍射元件之间设置第二单独的衍射元件，用于使来自辐射源的光束分成扫描光束和两束辅助光，这些光束在信息平面内分别形成扫描光点和两个辅助光点；组合探测系统包括使辅助光点重新成象的附加探测器，而且第二衍射元件是如此之小并被置于使得被第一衍射元件衍射的光束不能到达该第二衍射元件的位置上。