Method of producing a sensor for detecting gas, und sensor therefor.

摘要

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur de détection de traces ou d'impuretés gazeuses selon lequel on procède à l'évaporation sous pression partielle d'oxygène d'étain ou d'oxyde d'étain pour condenser les vapeurs sur un substrat électriquement isolant et y déposer une couche poreuse. L'évaporation de l'oxyde métallique ou du métal est réalisée sous une pression comprise entre 100 et 200 Pascals dans un courant gazeux comprenant de l'oxygène et un gaz neutre, la pression partielle de l'oxygène dans ce mélange étant comprise entre 20 et 130 Pascals, et de préférence inférieure à 80 Pascals.