发明名称 Imaging corrector of the Wien type for electron microscopes.
摘要 Die Erfindung betrifft einen abbildenden Korrektor vom Wien-Typ, welcher sich insbesondere für den Einsatz in einem Elektronenmikroskop eignet. Es besitzt eine mindestens achtzählige Anordnung der Elektroden und magnetische Pole und ist zwischen zwei Elektronenlinsen eingebaut. Der beschriebene Korrektor korrigiert gleichzeitig die chromatischen und sphärischen Aberrationen insbesondere von Elektronenlinsen in Niedervolt-Elektronenmikroskopen. Es beginnt und endet an einer Zwischenbildebene und besitzt zudem eine weitere Zwischenbildebene in seiner Mitte. Letztere Zwischenbildebene sorgt mit zwei weiteren, zwischen den Zwischenbildebenen befindlichen Symmetrieebenen für die gewünschten Abbildungseigenschaften. Mit zwei der oben beschriebenen Korrektoren und einer dicken teleskopischen Rundlinse zwischen ihnen lassen sich auch für ein Transmissionselektronenmikroskop alle chromatischen Fehler und Öffnungsfehler für Elektronen beliebiger Energie korrigieren.
申请公布号 EP0373399(A2) 申请公布日期 1990.06.20
申请号 EP19890121640 申请日期 1989.11.23
申请人 FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS CARL ZEISS 发明人 ROSE, HARALD, PROF. DR.
分类号 H01J37/153 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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