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发明名称
PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH02160688(A)
申请公布日期
1990.06.20
申请号
JP19880312942
申请日期
1988.12.13
申请人
NKK CORP
发明人
KANETO TAKESHI;SUZUKI MAKOTO;ARAKI KENJI
分类号
C30B15/10;H01L21/208
主分类号
C30B15/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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