发明名称 Pumping unit for obstaining a high vacuum.
摘要 <p>Ensemble de pompage pour l'obtention de vides élevés, comprenant une pompe primaire (4) et une pompe secondaire (1), associées en série, la pompe secondaire (1) aspirant dans une enceinte (3) à vider, et comportant des moyens de démarrage (7) de la pompe secondaire (1) lorsque la pression en amont de la pompe primaire (4) descend au-dessous d'une valeur P1, caractérisé en ce qu'un réservoir passif (10), suivi d'une vanne d'isolement (11) sont intercalés entre le refoulement (12) de la pompe secondaire (1) et l'aspiration (13) de la pompe primaire (4), et en ce qu'il comprend des moyens de commande (7) de fermeture de la vanne d'isolement (11) et d'arrêt de la pompe primaire (4) lorsque la pression dans ledit réservoir passif (10) atteint une valeur P2 &lt; P1 et d'ouverture de la vanne d'isolement (11) et de remise en marche de la pompe primaire (4) lorsque la pression dans ledit réservoir passif (10) atteint de nouveau la pression P1.</p>
申请公布号 EP0373975(A1) 申请公布日期 1990.06.20
申请号 EP19890402659 申请日期 1989.09.27
申请人 ALCATEL CIT 发明人 SAULGEOT, CLAUDE;LONG, JACQUES
分类号 F04B37/14;F04B37/16;F04B41/02;F04B41/06;F04B49/02;F04C28/06 主分类号 F04B37/14
代理机构 代理人
主权项
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