发明名称 | 流量控制器 | ||
摘要 | 一种流体流量控制装置,包括一流体流量控制阀、一流体流量传感器和一从该流体流量传感器接收信号并往该流体流量控制阀输出信号的流体流量控制电路。流体流量控制电路包括一输出与实际流量信号和要求流量信号的比较有关的信号的实际控制电路、一根据要求流量信号与要求流量阈值信号的比较结果输出信号的流量要求值比较电路和一接收各输出并根据这些输出提供控制信号的加法电路。 | ||
申请公布号 | CN1043207A | 申请公布日期 | 1990.06.20 |
申请号 | CN89108624.2 | 申请日期 | 1989.11.15 |
申请人 | MKS仪器有限公司 | 发明人 | 克里斯托弗·C·戴 |
分类号 | G05D7/06 | 主分类号 | G05D7/06 |
代理机构 | 中国专利代理有限公司 | 代理人 | 曹济洪;肖掬昌 |
主权项 | 1、一种流体流量控制装置,其特征在于,该装置包括: 一流体流量控制阀,系准备安置在流体通路中并由控制信号控制而配置的, 一流体流量传感器,所述流体流量传感器系用以检测流体通路中的流体流量和输出表示该流量的实际流量信号而配置的;和 一流体流量控制电路; 所述流体流量控制电路系用以控制所述流体流量控制阀而配置的; 所述流体流量控制电路包括: 一实际控制电路,系用以将所述实际流量信号与要求流量信号进行比较并产生与该比较有关的信号而配置的; 一流量要求值比较电路,系用以将所述要求流量信号与要求流量阈值信号进行比较并提供表示该比较的流量要求值比较器的输出而配置的;和 一加法电路,系用以接收与所述实际流量信号和所述要求流量信号之间的比较有关的所述信号以及与所述流量要求值比较器输出有关的信号并根据所述诸信号提供所述控制信号而配置的。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |