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经营范围
发明名称
FOCUSING APPARATUS OF ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
EP0332140(A3)
申请公布日期
1990.06.20
申请号
EP19890104003
申请日期
1989.03.07
申请人
HITACHI LTD;HITACHI NAKA SEIKI KK
发明人
TOMIZAWA, JUNICHIRO;OZASA, SUSUMU
分类号
H01J37/153;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21
主分类号
H01J37/153
代理机构
代理人
主权项
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