发明名称 |
PATTERN FORMATION ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02159026(A) |
申请公布日期 |
1990.06.19 |
申请号 |
JP19880314281 |
申请日期 |
1988.12.13 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SATO MITSUO;CHIYODA KIYOSHI;GOTO HARUYUKI |
分类号 |
B41F17/36;H01L21/30;H05K3/06 |
主分类号 |
B41F17/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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