| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON VIBRATION TYPE DISTORTION SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02159769(A) |
申请公布日期 |
1990.06.19 |
| 申请号 |
JP19880315601 |
申请日期 |
1988.12.14 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
HARADA KINJI;IKEDA KYOICHI;KUWAYAMA HIDEKI;KOBAYASHI TAKASHI;WATANABE TETSUYA;NISHIKAWA SUNAO;YOSHIDA TAKASHI |
| 分类号 |
G01L9/00;H01L21/306;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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