发明名称 CRYOSTAT AND OPERATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02159076(A) 申请公布日期 1990.06.19
申请号 JP19880314335 申请日期 1988.12.13
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 KANAZAWA KATSUAKI
分类号 F17C3/08;H01L39/04 主分类号 F17C3/08
代理机构 代理人
主权项
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