发明名称 ELECTRON BEAM TESTER
摘要
申请公布号 JPH02157665(A) 申请公布日期 1990.06.18
申请号 JP19880312530 申请日期 1988.12.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUBO KAZUO;HAMA SOICHI;OZAKI KAZUYUKI;ISHIZUKA TOSHIHIRO;ABE TAKAYUKI
分类号 G01R19/00;G01R31/302 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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