| 发明名称 |
RESIST DISCHARGING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02158122(A) |
申请公布日期 |
1990.06.18 |
| 申请号 |
JP19880313524 |
申请日期 |
1988.12.12 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TERU KYUSHU KK |
发明人 |
YAMAHIRA YUTAKA;IWAMA TATSUYUKI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;B05D1/02;B05D1/40;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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