发明名称 DUST-FREE THERMOSTATIC DRYER
摘要
申请公布号 JPH02158131(A) 申请公布日期 1990.06.18
申请号 JP19880312024 申请日期 1988.12.12
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SHIMIZU ENG KK 发明人 OSADA TAKESHI
分类号 F26B9/06;H01L21/304 主分类号 F26B9/06
代理机构 代理人
主权项
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