发明名称 AIR FLOATING TYPE TABLE
摘要
申请公布号 JPH02157687(A) 申请公布日期 1990.06.18
申请号 JP19880312483 申请日期 1988.12.09
申请人 TOKYO KOKU KEIKI KK 发明人 MAMADA SAKAE
分类号 G12B5/00;B23Q1/00;H01L21/66 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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