| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VON EINER ISOLIERENDEN SCHICHT BEDECKTEN SCHICHT AUS EINEM FEUERFESTEN METALLSILIZID AUF EINEM SUBSTRAT, INSBESONDERE GEEIGNET FUER DIE HERSTELLUNG VON SCHICHTEN ZUR VERBINDUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT53146(T) |
申请公布日期 |
1990.06.15 |
| 申请号 |
AT19860400402T |
申请日期 |
1986.02.25 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) |
发明人 |
DENEUVILLE, ALAIN;MANDEVILLE, PIERRE |
| 分类号 |
H01L23/52;(IPC1-7):H01L23/52;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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