| 发明名称 |
CANON A PARTICULES ELECTRIQUES PERMETTANT L'EMISSION PULSEE DE PARTICULES D'ENERGIE DETERMINEE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2596579(B1) |
申请公布日期 |
1990.06.15 |
| 申请号 |
FR19860004239 |
申请日期 |
1986.03.25 |
| 申请人 |
REIMS CHAMPAGNE ARDENNE UNIVERSI |
发明人 |
MICHEL TROYON |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/06;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/00;H01L21/263;H01L21/70 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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