发明名称 |
METAL MOLD FOR SINGLE CRYSTAL FORMING SUBSTRATE AND SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE USING SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02157199(A) |
申请公布日期 |
1990.06.15 |
申请号 |
JP19880313377 |
申请日期 |
1988.12.12 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
AOKI MASAKI;TORII HIDEO;FUJII TERUYUKI;KURIBAYASHI KIYOSHI;MONJU HIDETO;UMETANI MAKOTO |
分类号 |
C03B9/48;C23C14/16;C30B25/18;C30B29/22;C30B29/60;H01L21/84 |
主分类号 |
C03B9/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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