发明名称 METAL MOLD FOR SINGLE CRYSTAL FORMING SUBSTRATE AND SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE USING SAME
摘要
申请公布号 JPH02157199(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880313377 申请日期 1988.12.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AOKI MASAKI;TORII HIDEO;FUJII TERUYUKI;KURIBAYASHI KIYOSHI;MONJU HIDETO;UMETANI MAKOTO
分类号 C03B9/48;C23C14/16;C30B25/18;C30B29/22;C30B29/60;H01L21/84 主分类号 C03B9/48
代理机构 代理人
主权项
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