| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE REVETEMENT DE MICRO-DEPRESSIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2585371(B1) |
申请公布日期 |
1990.06.15 |
| 申请号 |
FR19860005533 |
申请日期 |
1986.04.17 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
MARCEL LARDON, RAINER BUHL ET HANS-PETER BADER;BUHL RAINER;BADER HANS-PETER |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C14/04;C23C14/58;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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