发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02156573(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880309909 申请日期 1988.12.09
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 OSHIMA TAKU;NAKAGAWA KIYOKAZU;NAKAMURA NOBUO;MIYAO MASANOBU
分类号 H01L29/68;H01L29/80 主分类号 H01L29/68
代理机构 代理人
主权项
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