发明名称 FORMATION OF DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH02156087(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880309137 申请日期 1988.12.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TEJIMA AKITOMO
分类号 C23C16/50;C23C16/27 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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