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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02156081(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880311378 申请日期 1988.12.09
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 KURIYAMA NOBORU
分类号 C23C14/40;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
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