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发明名称 PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02156631(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880311620 申请日期 1988.12.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TEL SAGAMI LTD 发明人 SHIRATANI ISAO;HAYASHI YOSHINOBU;JINNAI SHINPEI;HAMADA YUUKI
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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