发明名称 METHOD FOR SYNTHESIZING OXIDE SUPERCONDUCTING FILM
摘要
申请公布号 JPH02157108(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880310041 申请日期 1988.12.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIGASHIYAMA KAZUHISA;NAMATAME TOSHIHIDE;SAITO YUKIO
分类号 C01G3/00;B01J35/02;C01B13/14;C01G1/00;C23C16/30;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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