发明名称 |
METHOD FOR SYNTHESIZING OXIDE SUPERCONDUCTING FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH02157108(A) |
申请公布日期 |
1990.06.15 |
申请号 |
JP19880310041 |
申请日期 |
1988.12.09 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIGASHIYAMA KAZUHISA;NAMATAME TOSHIHIDE;SAITO YUKIO |
分类号 |
C01G3/00;B01J35/02;C01B13/14;C01G1/00;C23C16/30;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G3/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|