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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02156071(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880309424 申请日期 1988.12.07
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 TSUTSUGI TOKU;NAKANISHI MASAJI
分类号 B60S1/02;C03C17/245;C03C27/12;C23C14/02;C23C14/08 主分类号 B60S1/02
代理机构 代理人
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