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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02156539(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880310915 申请日期 1988.12.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA TAMOTSU;MIYAMOTO HIROAKI;HAYASHIDA TETSUYA;YOSHIDA IKUO
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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