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发明名称
DRY ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH02155230(A)
申请公布日期
1990.06.14
申请号
JP19880309451
申请日期
1988.12.07
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
TOMITA KAZUYUKI;TANAKA YASUO;HOUCHIN RIYUUZOU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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