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发明名称 INTERFEROMETER USING MULTI-MODE SEMICONDUCTOR LASER
摘要
申请公布号 EP0364984(A3) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 EP19890119346 申请日期 1989.10.18
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIZUKA, KO;NISHIMURA, TETSUHARU;KUBOTA, YOICHI;TSUKIJI, MASAAKI;ISHII, SATOSHI
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01D5/38;H01S5/068;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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