发明名称 CHARGED PARTICLE ENERGY ANALYSER
摘要
申请公布号 EP0223520(B1) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 EP19860308683 申请日期 1986.11.07
申请人 VG INSTRUMENTS GROUP LIMITED 发明人 ROCKETT, PETER
分类号 G01Q70/10;H01J49/48 主分类号 G01Q70/10
代理机构 代理人
主权项
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