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发明名称 FLOW RATE ADJUSTING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH02153409(A) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 JP19890258760 申请日期 1989.10.05
申请人 NIPPON TAIRAN KK 发明人 OZAWA KAZUO
分类号 H01L21/205;F16K13/00;G05D7/01 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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