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发明名称 CONDUCTOR STRUCTURE, SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02154465(A) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 JP19880309058 申请日期 1988.12.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATO HIROMI
分类号 H01L21/768;H01B5/16;H01L23/522;H01L29/41;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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