| 发明名称 |
METHOD OF REACTIVE ION ETCHING MOLYBDENUM AND MOLYBDENUM SILICIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0127268(B1) |
申请公布日期 |
1990.06.13 |
| 申请号 |
EP19840301475 |
申请日期 |
1984.03.06 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
WATANABE, TOHRU PATENT DIVISION |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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